TDL—J75高温氧化物晶体炉的研制

作     者：刘小云 张志新 杨军良 

作者机构：西安理工大学晶体生长设备研究所西安710048 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：1999年第28卷第3期

页      码：32-34,38页

摘      要：简要介绍一种控制高温氧化物晶体和生长设备， 通过与国内外同类炉型相比较，着重对该设备的机械结构设计特点及电气控制系统作较详细的说明。

主 题 词：晶体生长炉 氧化物 晶体直拉法 激光晶体材料 

学科分类：080603[080603] 08[工学] 0806[工学-电气类] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203119508...