埋入式无线MEMS应变片系数的标定

作     者：周嘉 曹莉 S.C.Mantell Chuck Hautamaki Tae Song Kim 黄宜平 

作者机构：复旦大学微电子学系 美国明尼苏达大学机械系明尼阿波利斯mn55455 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2002年第25卷第2期

页      码：113-116页

摘      要：本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统 )无线应变片性能的实验标定方法。通过引入一个当量应变片 ,遵照标准应变片的标定规定 ,本文设计了实用有效的实验标定步骤。分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验 ,从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数 (灵敏度 )为 13,同时获得在实验试样的制作条件下 ,测量应变与实际应变之比为 2。

主 题 词：标定 埋入式应变片 MEMS 应变片系数 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2002.02.001

馆 藏 号：203119687...