一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作

作     者：张久超 谭晓兰 康杰 ZHANG Jiu-chao;TAN Xiao-lan;KANG Jie

作者机构：北方工业大学机械与材料工程学院北京100144 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51375017) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2016年第35卷第1期

页      码：124-126,130页

摘      要：为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用,基于多铁纳米纤维敏感材料,利用MEMS技术、静电纺丝技术,设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析,得出纳米纤维直径越小,长度越大,即电极间距越大,纤维端电势越高,灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工艺过程,制作出了传感器样片。分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题,提出了可行的工艺方法。

主 题 词：压电式压力传感器 纳米纤维 微机电系统 静电纺丝 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2016)01-0124-03

馆 藏 号：203119747...