劳埃德式紫外激光干涉光刻实验

作     者：钟晓岚 宋佳奇 李晓苗 姚旭 严琪琪 金硕 ZHONG Xiaolan;SONG Jiaqi;LI Xiaomiao;YAO Xu;YAN Qiqi;JIN Shuo

作者机构：北京航空航天大学物理学院北京100191 

基　　金：北京航空航天大学研究生教育与发展研究专项基金资助(No.JG2022017) 北京高校本科教学改革创新项目资助(No.202210006003) 

出 版 物：《物理实验》 (Physics Experimentation)

年 卷 期：2023年第43卷第3期

页      码：22-28页

摘      要：搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统,利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉,通过精确调整、控制光束的入射角,设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备,分析光栅周期与波长、入射角的关系;在拓展实验中,制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备,前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔.基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高,同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容,有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能.

主 题 词：劳埃德镜 紫外激光干涉 激光光刻 微纳米技术 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.19655/j.cnki.1005-4642.2023.03.003

馆 藏 号：203120084...