高均匀长工作深度激光整形系统设计

作     者：余金清 尹韶云 殷智勇 董小春 孙秀辉 苟健 杜春雷 YU Jinqing;YIN Shaoyun;YIN Zhiyong;DONG Xiaochun;SUN Xiuhui;GOU Jian;DU Chunlei

作者机构：中国科学院成都光电技术研究所微纳加工实验室成都610209 中国科学院重庆绿色智能技术研究所微纳制造与系统集成中心重庆401122 军械工程学院电子与光学工程系石家庄050003 

基　　金：重庆市科技计划项目(cstc2012ggC90003) 国家自然基金项目(11174281 61275061)资助 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2014年第41卷第8期

页      码：80-84页

摘      要：高功率固体激光器对入射的泵浦光具有严格的均匀性和工作深度要求。本文通过将微透镜阵列与长焦深菲涅尔透镜结合,对半导体激光器阵列光束进行整形,获得在长工作深度范围内的均匀光斑。本文针对dilas E15Y-808.3-1260C半导体激光器阵列设计了目标光斑大小为4 mm×4 mm的三维激光整形系统。仿真结果表明,该光束整形系统与传统的多通道光束积分整形系统相比,在光斑尺寸与均匀性保持不变的情况下,工作深度增加了2倍。

主 题 词：光束整形 微透镜阵列 菲涅尔透镜 长焦深 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501x.2014.08.013

馆 藏 号：203120102...