微波MEMS移相器的特性分析与实现

作     者：李炜 石艳玲 朱自强 赖宗声 

作者机构：华东师范大学电子科学技术系上海200062 

基　　金：国家973项目 (G1999033105) 国家自然科学基金(69876012) 国家杰出青年基金(69975409) 上海-应用材料研究与发展基金项目(0103) 上海市重点学科项目(012261028) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2003年第28卷第11期

页      码：19-23页

摘      要：从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较传统的移相器有微型化、低损耗、低成本、宽带等突出优点。

主 题 词：MEMS 移相器 微电子机械系统 微波集成电路 开关线型 耦合器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2003.11.008

馆 藏 号：203120132...