新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统设计

作     者：曹岚 杨波 朱宪亮 张海燕 龚海梅 CAO Lan;YANG Bo;ZHU Xianliang;ZHANG Haiyan;GONG Haimei

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室上海200083 中国科学院研究生院北京100039 

出 版 物：《科技导报》 (Science & Technology Review)

年 卷 期：2011年第29卷第28期

页      码：20-23页

摘      要：依据新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统的技术要求,设计了具有两套抽气系统的全自动化高真空排气台,主真空系统以机械泵和分子泵作为前级泵,溅射离子泵作为主抽泵;辅助真空系统由机械泵和分子泵组成,用于主系统预抽。该真空系统采用计算机控制技术程控真空排气工艺,为多工位结构,具有全自动化的功能。根据理论计算分析,该设备能满足红外组件寿命试验对真空的要求。

主 题 词：红外组件:寿命试验 真空 自动化 

学科分类：08[工学] 082504[082504] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3981/j.issn.1000-7857.2011.28.001

馆 藏 号：203120248...