小型电容薄膜真空规的设计

作     者：孙雯君 冯焱 马奔 习振华 成永军 赵澜 SUN Wen-jun;FENG Yan;MA Ben;XI Zhen-hua;CHENG Yong-jun;ZHAO Lan

作者机构：兰州空间技术物理研究所甘肃兰州730000 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2012年第18卷第4期

页      码：232-234,243页

摘      要：商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规。设计中采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形;采用面积相同的双电极结构,消除测量过程中外界杂散电容和温度变化引起的测量信号偏差。小型电容薄膜真空规整体尺寸为Φ42×24 mm,重量小于200 g,测量下限为10-2Pa,测量不确定度预计小于5%,能适应较宽的工作温度范围,可以满足深空探测需求。

主 题 词：真空计量 真空测量仪器 电容薄膜真空规 结构设计 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7086.2012.04.010

馆 藏 号：203120420...