太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究

作     者：翟荣锭 吴倩楠 王俊强 苏宁宁 李孟委 Zhai Rongding;Wu Qiannan;Wang Junqiang;Su Ningning;Li Mengwei

作者机构：中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 中北大学半导体与物理学院太原030051 中北大学微系统集成研究中心太原030051 中北大学理学院太原030051 

基　　金：装备发展部预研项目 国防重点项目 山西省研究生教育改革研究课题(11012133)项目资助 

出 版 物：《电子测量技术》 (Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2023年第46卷第3期

页      码：6-11页

摘      要：设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器,可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度,得到大量程、高灵敏度的太赫兹MEMS高温传感器的特征尺寸。结果表明:该温度传感器在3.0~5.0 THz频段内,测温范围可从25℃~1050℃,灵敏度为0.259 GHz/℃,整体体积为20μm×21μm×14.5μm。该传感器具有优异的传感性能和较大的测温量程,可为高温环境下的航空发动机、火箭发射系统、恶劣环境监测等系统的测温提供一种技术方法。

主 题 词：石墨烯 氧化铝薄膜 温度传感 太赫兹 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.19651/j.cnki.emt.2210572

馆 藏 号：203120980...