北京遥测技术研究所MEMS工程中心

出 版 物：《遥测遥控》 (Journal of Telemetry,Tracking and Command)

年 卷 期：2023年第44卷第2期

页      码：F0003-F0003页

摘      要：北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m^(2),是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。依托航天型号任务、预先研究课题、自主开发项目等,中心积累了丰富的MEMS微纳工艺经验,形成了专业化的技术平台。

主 题 词：薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 MEMS传感器 MEMS器件 MEMS技术 洁净厂房 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203120981...