超精密运动平台高动态性能运动部件的研究

作     者：徐登峰 赵冶 XU Dengfeng;ZHAO Ye

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2009年第7期

页      码：37-40页

摘      要：随着对超精密运动平台运动速度加速度和定位精度的不断提高,运动系统的动态性能的要求也越来越高,这不仅对控制系统提出了更高的要求,同时对其中运动部件的模态要求也提高了。针对此类平台的要求,开展通过陶瓷提高运动部件动态性能的研究。首先通过简化模型分析了陶瓷与铝合金部件的模态差异,认识到陶瓷可以大幅度提升运动部件的模态。然后通过理论模态分析和实验模态分析讨论了陶瓷构件设计的问题,并对运动系统进行了初步的高控制带宽跟踪实验。最后对这一设计、制造和装配研究过程中得到的经验进行了总结,为以后的深入研究打下了基础。

主 题 词：陶瓷 模态 运动平台 超精密 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2402.2009.07.016

馆 藏 号：203120982...