测试原位纳米压痕的微小型加载装置

作     者：嵇佳斌 王义强 赵宏伟 周晓勤 曹力 彭振兴 JI Jia-bin;WANG Yi-qiang;ZHAO Hong-wei;ZHOU Xiao-qin;CAO Li;PENG Zhen-xing

作者机构：吉林大学机械科学与工程学院长春130022 

基　　金：国家自然科学基金项目(50905073) 高等学校博士学科点专项科研基金项目(200801831024) 吉林省青年科学基金项目(20090101) 

出 版 物：《吉林大学学报（工学版）》 (Journal of Jilin University:Engineering and Technology Edition)

年 卷 期：2010年第40卷第2期

页      码：471-474页

摘      要：提出一种用于原位纳米压痕测试的微小型精密加载装置。结合纳米压痕测试的基本要求,对精密加载装置进行了结构设计分析,建立了以压电叠堆推动柔性铰链推进单晶金刚石工具头实现压痕测试的方案,依据胡克定律利用柔性铰链敏感单元实现对压入力信号的检测。对压入柔性铰链单元进行了力学分析和模态研究,在此基础上,对研制测试平台样机的压入特性、载荷力检测等进行了试验测试,并利用研制的样机对单晶硅晶片进行了压痕试验。加载装置在100V驱动电压下压头有效行程可达11.96μm,基本满足压痕测试的功能要求。

主 题 词：原位纳米压痕 精密加载机构 力学信号 位移信号 金刚石压头 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.13229/j.cnki.jdxbgxb2010.02.009

馆 藏 号：203121009...