电容测微仪动态特性的改进及标定方法

作     者：张宇华 王晓琳 张国雄 郑义忠 Zhang Yuhua;Wang Xiaolin;Zhang Guoxiong;Zheng Yizhong

作者机构：北京理工大学光电工程系 山东工业大学机械工程学院 天津大学精密仪器与光电子工程学院 

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金 

出 版 物：《北京理工大学学报》 (Transactions of Beijing Institute of Technology)

年 卷 期：1999年第19卷第1期

页      码：87-91页

摘      要：目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进．方法以８阶Ｂｕｔｔｅｒ－ｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法．结果与结论改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ．

主 题 词：电容测微仪 标定法 主轴 机床 回转运动精度 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-0645.1999.01.019

馆 藏 号：203121021...