基于压电材料的引线键合微夹持器设计

作     者：隆志力 刘谋洋 张建国 LONG Zhili;LIU Mouyang;ZHANG Jianguo

作者机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院广东深圳518055 东莞华中科技大学制造工程研究院广东东莞523808 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50605064) 国家自然科学基金会(NSFC)-广东联合基金重点资助项目(U1134004) 广东省重大专项基金资助项目(2011A080801004) 广东省引进创新科研团队计划基金资助项目(2009010051) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2012年第34卷第6期

页      码：853-856页

摘      要：引线微夹持器是IC/LED键合系统的关键模块。该文综合采用压电智能材料与柔性联接的组合结构,设计了键合系统的引线微夹持器。利用有限元法,计算了微夹持器的振动模态与静力特性,获得了系统的固有频率、振动模态及电信号驱动下的支臂端部张开量。在实验上,通过高速摄像系统的跟踪实验,捕获了系统支臂端部的运动行为,获得了系统张开量与驱动电压的关系;并用激光非接触测量技术,获得系统端部的振动特性。该文计算与实验均为引线微夹持器的可靠性应用提供基础。

主 题 词：微夹持器 压电智能材料 柔性联接 引线键合 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2012.06.012

馆 藏 号：203121138...