直线电机的线性自抗扰控制

作     者：刘川 朱非甲 马伟 陈兴林 LIU Chuan;ZHU Fei-jia;MA Wei;CHEN Xing-lin

作者机构：哈尔滨工业大学航天学院黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207) 

出 版 物：《电机与控制学报》 (Electric Machines and Control)

年 卷 期：2013年第17卷第1期

页      码：71-76页

摘      要：光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能。实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力。

主 题 词：光刻机 工件台 直线电机 线性自抗扰 前馈补偿 高动态精密伺服 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-449X.2013.01.012

馆 藏 号：203121148...