精密PSD微位移在线测量系统

作     者：宋殿友 刘铁根 丁小昆 李志宏 Song Dianyou;Liu Tiegen;Ding Xiaokun;Li Zhihong

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 天津理工大学电信学院天津300384 薄膜电子与通信器件天津市重点实验室天津300384 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2010CB327802) 国家自然科学基金资助项目((60627002 30770597) 天津市科技支撑计划资助项目(09ZCKFGX01400) 天津市应用基础研究计划资助项目(06YFJZJC00400) 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：2013年第46卷第2期

页      码：168-173页

摘      要：为了满足工业现场微位移测量的精密性实时性和可靠性要求,设计并制作了位置敏感器件(PSD)激光微位移测量系统.系统将调制带通滤波峰值检测等信号处理技术运用于激光三角法中,并利用PSD信号单通道处理方式,提高了系统的抗干扰能力.同时,系统采用自适应控制方法改变激光的调制频率,从而调整电信号的增益系数以适应各种测量对象.实验表明,在没有滤光片的情况下,系统有效地消除了背景光和暗电流的影响,测量频率最高可达2,kHz,分辨率达到0.035%,稳定性误差小于0.090%,线性度好于1.2%,大大降低了温漂的影响.

主 题 词：位置敏感器件 激光三角法 微位移测量 自适应调制 单通道 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

核心收录：

馆 藏 号：203121150...