基于As_(40)Se_(60)硫系玻璃的长波红外增透膜研制

作     者：刘卓 张友良 李刚 杨伟声 王雪颖 谢启明 杨晓京 Liu Zhuo;Zhang Youliang;Li Gang;Yang Weisheng;Wang Xueying;Xie Qiming;Yang Xiaojing

作者机构：云南北方光学科技有限公司云南昆明650217 昆明理工大学机电工程学院云南昆明650500 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第5期

页      码：408-414页

摘      要：As_(40)Se_(60)硫系玻璃基底沉积红外光学薄膜存在牢固性不足的缺点,以膜层牢固性为研究对象来解决膜层附着力问题。首先选择了合适的膜层材料,完成了膜系的设计及优化;然后以沉积温度为影响因素进行单因素实验,研究了ZnS连接层的镀制工艺和残余应力,采用无离子源辅助的办法降低了连接层的残余应力,提高了膜层附着力;最终解决了较高温度下的薄膜脱膜问题,研制了一种透过波段为8~12μm的红外增透膜,并确定了镀制工艺运用于实际生产。所制备的薄膜平均透过率为98%、平均反射率为0.6%,附着力、高低温、湿热实验满足GJB2845-1995标准中的要求。

主 题 词：薄膜 增透膜 硫系玻璃 连接层 红外光学 残余应力 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP220737

馆 藏 号：203121165...