大视场大数值孔径显微物镜光学设计

作     者：黄木旺 刘旭 林法官 Huang Muwang;Liu Xu;Lin Faguan

作者机构：浙江大学光电科学与工程学院浙江杭州310027 福建福特科光电股份有限公司福建福州350100 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第5期

页      码：217-221页

摘      要：在纳米激光直写加工系统中,显微物镜是其中的关键部件,行业发展的趋势是在大数值孔径(NA)下具有更大的物方视场,并且能适应双光子聚合(Two-photon polymerization,TPP)胶折射率的变化。对比当前TPP效应研究所用显微物镜的指标,挖掘了物方视场、NA和镜片数的关系,并提出物镜的合成敏感度指标(Synthetic sensitivity index,Iss)。结合Iss设计了一款波段为500~800 nm、NA大于1.3、物方视场为1.0 mm的显微物镜。该物镜的设计结果为,调制传递函数曲线接近衍射极限,波像差均方根小于0.07λ,以内调焦方式来适应TPP胶折射率的变化。公差分析表明该设计结果具有可行性。

主 题 词：光学设计 大视场 大数值孔径 平场复消色差显微物镜 激光直写 微纳加工 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP220458

馆 藏 号：203121175...