科研反哺促进特种加工实验教学优化革新——单晶锗晶圆光控电解加工实验

作     者：朱浩 张朝阳 徐坤 刘洋 Zhu Hao;Zhang Zhaoyang;Xu Kun;Liu Yang

作者机构：江苏大学机械工程学院江苏镇江212013 

出 版 物：《广东化工》 (Guangdong Chemical Industry)

年 卷 期：2023年第50卷第8期

页      码：236-238,229页

摘      要：设计了面向本科生的单晶锗晶圆光控定域电解加工实验,利用上表面激光辐照调控材料电导率,实现晶圆背面电化学阳极溶解过程的精确控制,得到高质量凹坑结构。本实验可以直观验证电化学阳极溶解速度取决于电流密度,帮助学生深入理解电解加工原理,同时锻炼学生对激光器、电解电源、扫描电镜等多种设备的使用能力,进一步了解特种加工技术前沿,提升科学素养。

主 题 词：单晶锗晶圆 光控电解 电化学反应 实验教学 科研前沿 

学科分类：0401[教育学-教育学类] 04[教育学] 040102[040102] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-1865.2023.08.073

馆 藏 号：203121182...