真空电弧离子镀蒸发源结构及其设计

作     者：黄锡森 

出 版 物：《机械制造与自动化》 (Machine Building & Automation)

年 卷 期：1991年第6卷第1期

页      码：6-9,35页

主 题 词：真空电弧 离子镀 蒸发源 结构 设计 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

馆 藏 号：203121209...