微透镜阵列加工误差对光学性能的影响

作     者：田霏 刘现磊 张效栋 房丰洲 Tian Fei;Liu Xianlei;Zhang Xiaodong;Fang Fengzhou

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家973计划(2011CB706700) 国家自然科学基金面上项目(51375337) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2016年第36卷第2期

页      码：178-186页

摘      要：研究了微透镜阵列加工误差对光学系统成像性能的影响规律,寻求利于改善光学性能的面形误差分布。对面形误差与波前像差之间的转换矩阵进行建模,使仿真与计算的波前像差达到纳米级的误差精度,选用具有正交性的Zernike多项式作为光学和机械的接口,表示加工后光学表面的面形误差,并分别作为干涉图数据引入到已设计的子眼透镜表面,量化分析不同位置下畸变、点列图、点扩展函数(PSF)、调制传递函数(MTF)的改变情况。分析结果表明相同形状分布下,面形精度峰谷(PV)值对光学系统畸变和MTF的影响呈现递变规律,并且点扩展函数的二维分布与视场位置存在明显的对应关系;相同面形精度下,向左和中心对称分布的面形误差使得畸变、点列图和MTF在一定相对位置得到改善,而降低了其他相对位置的光学性能。综合考虑各光学参数的变化情况,向右对称分布的面形误差分布对于改善光学系统成像性能有利,为实现成像质量的可控超精密加工制造提供了理论基础。

主 题 词：光学设计 成像性能 影响规律 误差分布 干涉图 转换矩阵 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201636.0222002

馆 藏 号：203121287...