TEM模式同轴谐振腔低气压放电蒙特卡罗仿真和实验研究

作     者：彭玉彬 茅张松 周昊楠 曾鸣奇 胥钧埕 贺永宁 PENG Yubin;MAO Zhangsong;ZHOU Haonan;ZENG Mingqi;XU Juncheng;HE Yongning

作者机构：西安交通大学电子与信息学部微电子学院西安710049 西安市微纳电子与系统集成重点实验室西安710049 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2023年第43卷第4期

页      码：290-297页

摘      要：随着无线通信系统高频小型化的发展趋势,对微波滤波器设计提出更为严苛的要求。其中功率容量作为衡量滤波器性能的重要指标,在滤波器尺寸不断缩小的情形下面临严峻的挑战。谐振器作为滤波器基本组成单元,对单一谐振器的功率容量准确预测十分重要。本文针对工作频率在2.6 GHz的TEM模式同轴谐振器,将电容加载的耦合结构近似为平行平板结构,利用单粒子蒙特卡罗方法仿真获得同轴谐振器临界击穿电场,实现了对该结构同轴谐振腔的低气压放电功率阈值仿真预测。对所设计同轴谐振腔开展低气压放电实验研究,获得了100~1000 Pa气压范围内击穿功率阈值随气压的变化关系实验曲线,并验证了单粒子蒙特卡罗仿真预测方法的准确性。

主 题 词：蒙特卡罗数值模拟 低气压放电 同轴谐振腔 功率阈值 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202210012

馆 藏 号：203121302...