MEMS静电执行光开关的设计与实验

作     者：王科平 葛峻 秦明 

作者机构：东南大学教育部重点实验室南京210096 

基　　金：华为科技基金8506003022的资助 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2003年第26卷第3期

页      码：240-243,252页

摘      要：介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关,该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成。微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现。微反射镜和V字型光纤槽通过对(100)单晶硅的各向异性腐蚀实现。论文给出光开关的结构设计,并实验验证了上述自对准光开关的加工工艺。

主 题 词：MEMS 光开关 静电执行 自对准 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2003.03.002

馆 藏 号：203121330...