基于改进粒子群算法的晶圆良率优化

作     者：郑城 张洁 吕佑龙 许鸿伟 ZHENG Cheng;ZHANG Jie;LYU Youlong;XU Hongwei

作者机构：东华大学机械工程学院智能制造研究所上海201620 上海交通大学机械与动力工程学院工业工程与管理系上海200240 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51435009) 上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(18YF1400800) 

出 版 物：《计算机集成制造系统》 (Computer Integrated Manufacturing Systems)

年 卷 期：2023年第29卷第4期

页      码：1165-1173页

摘      要：晶圆良率是衡量晶圆产品质量的重要指标,实现其稳定优化能够有效控制生产成本。针对晶圆良率影响因素众多、数据量庞大等特点,以晶圆允收测试为依据,设计了基于改进粒子群算法的晶圆良率优化方法。该方法在晶圆允收测试数据预处理与关键参数提取基础上,建立评价粒子适应度的晶圆良率预测模型,设计迭代自适应的粒子群惯性因子与加速因子,以及基于模拟退火的局部搜索机制,实现最小调整成本下的晶圆良率最大化目标。在某晶圆制造车间算例实验中,通过对比分析验证了所提方法的有效性。

主 题 词：晶圆良率优化 粒子群算法 晶圆允收测试 预测模型 局部搜索 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13196/j.cims.2023.04.011

馆 藏 号：203121387...