垂直连续电镀不同阴阳极回路设计对比分析

作     者：周帅林 高明 孙宏超 李志东 Zhou Shuailin;Gao Ming;Sun Hongchao;Li Zhidong

作者机构：武汉新创元半导体有限公司湖北武汉430000 

出 版 物：《印制电路信息》 (Printed Circuit Information)

年 卷 期：2023年第31卷第S1期

页      码：214-228页

摘      要：随着半导体封装基板向高密度、高精度等方向发展,电镀工艺也从减成法全板电镀转变为加成法图形电镀,为了在保证高产能的同时确保精细线路的均匀性以及品质的可追溯性,对封装基板的图形电镀提出了更高的挑战。文章针对垂直连续电镀的不同阴阳极回路设计,分析其结构,电流回路及产品跨槽时的电流切替,并结合实际应用中产品出现的问题,阐述了不同回路在可追溯性、产能、电流控制精度、线路均匀性、成本以及发生异常对产品影响程度等几个方面各自的优缺点,为设备选型和生产提供参考依据。

主 题 词：线路均匀性 电流控制精度 可追溯性 产能 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203121499...