基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
作者机构：国仪量子(合肥)技术有限公司安徽合肥230031 中国科学技术大学近代物理系安徽合肥230031
出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)
年 卷 期：2023年第42卷第2期
页 码：208-215页
摘 要：低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率的影响。根据模型所预测的探测电流的大致范围同实测探测电流较为一致。同时仿真分析的结果表明,空间中不同区域的放电强度有较大区别,局部区域的雪崩倍增剧烈程度与该区域的电场强度成正相关。这对探测器的形状和位置布局设计具有显著的指导意义。
主 题 词：扫描电子显微镜 低真空探测器 带电粒子追踪 蒙特卡洛模拟
学科分类：07[理学] 08[工学] 080401[080401] 070203[070203] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类]
D O I：10.3969/j.issn.1000-6281.2023.02.012
馆 藏 号：203121590...
