2.45GHz ECR强流等离子体源核心部件设计与实验研究

作     者：李钢 陈根 段文学 彭标 尉传颂 LI Gang;CHEN Gen;DUAN Wen-Xue;PENG Biao;WEI Chuan-Song

作者机构：安徽建筑大学电子与信息工程学院合肥230601 中国科学院合肥物质研究院等离子体物理研究所合肥230031 安徽大学物质科学与信息技术研究院合肥230601 合肥中科离子医学技术装备有限公司合肥230088 

基　　金：国家重点研发计划(E05KCI25591) 

出 版 物：《原子与分子物理学报》 (Journal of Atomic and Molecular Physics)

年 卷 期：2024年第41卷第5期

页      码：94-100页

摘      要：电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子,提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的,磁场对等离子体的生成和分布有直接影响,良好的磁场可以提高等离子体的性能和效率.采用有限元分析方法对ECR等离子体源磁场进行分析与设计,得到了满足设计需求与目标的磁场位形,通过高斯计对设计的永磁环轴向磁场精确测量,发现磁场仿真结果与实验结果吻合比较好,只是轴向磁场最大值及对应位置上有点偏差.通过集成实验,研究核心部件对离子源引出束流强度的影响,引出束流稳定且强度达到7 mA.

主 题 词：ECR等离子体源 磁场设计 引出束流 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.19855/j.1000-0364.2024.053001

馆 藏 号：203121885...