国产集成电路装备验证线标准体系研究与设计

作     者：张冰 罗超 禹庆荣 菅端端 赵梦晗 ZHANG Bing;LUO Chao;YU Qingrong;JIAN Duanduan;ZHAO Menghan

作者机构：中国电子科技集团公司电子科学研究院 中国电子科技集团公司第四十八研究所 工业与信息化部电子第四研究院 

出 版 物：《中国标准化》 (China Standardization)

年 卷 期：2023年第10期

页      码：93-99页

摘      要：本文针对国内开展集成电路装备验证线技术研究、项目试点“靶场”建设等实际需求,详细分析了集成电路装备验证线的组成结构及其标准体系架构。依据国内外相关标准体系建设的现状,设计了涵盖通用基础、研制生产、产品、检测及评价等4个方面的技术标准体系,并针对每个方面进行深入剖析,提出部分标准的技术框架。本标准体系设计填补了国内尚无8英寸装备验证线标准体系的空白,可为国产装备验证评估提供依据与参考。

主 题 词：装备验证线 标准体系 国产集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-5944.2023.10.012

馆 藏 号：203121911...