电感耦合等离子体质谱仪的仪器检出限设计方案

作     者：白圣玉 

作者机构：江苏瑞兆科电子材料有限公司江苏连云港222000 

出 版 物：《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》 

年 卷 期：2021年第4期

页      码：340-340,342页

摘      要：仪器检测限是仪器能够检测到的最低浓度。仪器检测限告诉我们分析物的浓度低到什么程度仪器仍然能够检测出来,因此能够准确的知道我们所在用仪器的检出限对我们的硬件分析能力确认至关重要。利用电感耦合等离子体质谱仪和超高纯试剂(如金属杂质含量小于等于10ppt),根据自身实验室仪器检出限的预期来确定应配制标准的最小浓度,然后再分别乘以5倍和10倍来配制这两个标准(标准溶液1、标准溶液2),在质谱仪上反复交错分析这两个标准溶液,通过一系列的数据统计、计算得出仪器检出限。该方法操作简单、结果可靠,适用于日常超高纯电子化学品的痕量杂质分析时,需要确认其所在用仪器检出限使用。

主 题 词：仪器检出限 电感耦合等离子体质谱仪 痕量杂质 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

馆 藏 号：203121953...