基于一体长方体分光补偿结构的干涉装置对微米级位移的测量

作     者：李典阳 

作者机构：河北省衡水市武邑县第二中学河北武邑053400 

出 版 物：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 

年 卷 期：2020年第10期

页      码：132-133页

摘      要：实现对微小变化量的精确测量对于生产生活和相关科研领域都具有极其重要的意义,现阶段较为常用的脉冲测距仪和相位法测距仪都无法满足生产生活的需要,因此,我们通过使用基于一体长方体分光补偿结构的干涉仪具有更高测量精度的特点设计制造了新型微米级位移测量仪。因测量精度的高低取决于干涉光的波长的大小,因此本装置仅提供最低测量精度,在使用760nm激光波长进行干涉时的测量精度为0.00038mm。

主 题 词：分光补偿 干涉装置 微米级位移 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203121982...