光学自由曲面测量与误差评估技术研究进展

作     者：王施相 孔令豹 吕昊宇 Wang Shixiang;Kong Lingbao;LüHaoyu

作者机构：复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心信息科学与工程学院上海200438 

基　　金：国家自然科学基金(52205559 52075100) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2023年第43卷第8期

页      码：235-254页

摘      要：光学自由曲面是现代精密光学领域的重大变革,因其优异的光学、力学性能而有望进一步推进光学系统实现微型化、轻量化、集成化。随着光学自由曲面的面形复杂度不断提升,光学自由曲面的检测技术已成为制约其制造水平的关键因素。回顾了近年来光学自由曲面测量与误差评估的关键技术,包括点线式扫描、全口径光学测量方法以及面形误差评估方法,结合各种技术的优缺点,展望了该领域未来发展的新趋势,并介绍了一种结合多传感器实现共体自由曲面的测量及误差评估的新方法。

主 题 词：光学设计 光学自由曲面 精密测量 面形测量 误差评估 误差参数 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0812[工学-测绘类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS222192

馆 藏 号：203122045...