基于行列寻址的压电超声换能器柔性曲面阵的研制

作     者：秦芸 王智豪 张国军 杨玉华 何常德 王任鑫 Qin Yun;Wang Zhihao;Zhang Guojun;Yang Yuhua;He Changde;Wang Renxin

作者机构：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(61927807,52275578) 科技部重点研发计划(2020YFC0122102) 山西省基础研究计划(20210302123027,20210302124203) 山西省“1331工程”重点学科建设计划(1331KSC) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2023年第60卷第5期

页      码：786-792页

摘      要：锆钛酸铅(PZT)压电超声换能器材料由于其优异的压电性能而在微电子机械系统(MEMS)领域受到了广泛的关注。订制了边长4 cm的PZT压电陶瓷片,将压电陶瓷片与柔性印刷电路板(PCB)键合,将压电陶瓷片划成2.45 mm×2.45 mm的阵元,在沟槽内填充环氧树脂胶。将键合后的压电陶瓷片粘在曲面模具上,溅射金属形成上电极,制成14×14阵元的曲面阵,其曲率半径为10 cm。此曲面阵采用行列寻址(RCA)的方式可以在水中测到发射和接收信号,并且可以对体模进行脉冲回波成像,在超声成像领域有广阔的发展前景。制备的曲面阵可为研制直径20 cm的柱面阵提供参考。

主 题 词：压电超声换能器 压电陶瓷片 柔性印刷电路板(PCB) 曲面阵 行列寻址(RCA) 

学科分类：07[理学] 08[工学] 070206[070206] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2023.05.017

馆 藏 号：203122156...