提高附壁效应真空发生器最大真空度的研究

作     者：李建鑫 李小宁 LI Jianxin;LI Xiaoning

作者机构：南京理工大学机械工程学院江苏南京210094 

出 版 物：《机械制造与自动化》 (Machine Building & Automation)

年 卷 期：2023年第52卷第3期

页      码：50-53页

摘      要：为提高附壁效应真空发生器的最大真空度,设计一种偏转射流入射角度的新型斜射式附壁效应真空发生器。通过仿真与试验研究射流偏转角θ及射流缝隙宽度h对真空度的影响规律。结果表明:随着射流偏转角θ和射流缝隙宽度h由小变大,真空发生器真空度均呈先增大后减小的变化趋势;当射流偏转角θ=30°、射流缝隙宽度h=0.16 mm时,真空度最大;在供气压力为0.5 MPa时,斜射式附壁效应真空发生器的最大真空度为63.8 kPa,相较于目前的附壁效应真空发生器最大真空度52 kPa提高了约23%。

主 题 词：真空发生器 附壁效应 真空度 结构 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2023.03.013

馆 藏 号：203122350...