分布式质量块结构高g值加速度传感器仿真分析

作     者：王鹏 杨雨君 陈曼龙 王楠 杨帆 梁应选 张昌明 彭春雷 韩继科 WANG Peng;YANG Yu-jun;CHEN Man-long;WANG Nan;YANG Fan;LIANG Ying-xuan;ZHANG Chang-ming;PENG Chun-lei;HAN Ji-ke

作者机构：陕西理工大学机械工程学院陕西汉中723001 陕西省工业自动化重点实验室陕西汉中723001 起落架及飞机结构件加工检测陕西省高校工程研究中心陕西汉中723001 

基　　金：陕西省重点研发计划项目(2021GY-323 2021GY-348 2022GY-257) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2023年第5期

页      码：19-24,29页

摘      要：针对航空航天、机电、石油等领域的高g值加速度监测需求,设计了一种分布式质量块结构的压阻式加速度传感器。运用敏感性分析和响应面方法对敏感结构模型优化,同时提升结构的固有频率和灵敏度;研究所构建模型在不同方向加速度作用下的应力分布特点,设计抗交叉干扰的传感器信号检测电路;分析结构的加工流程及封装工艺,有利于下一步制造应用。仿真结果表明:该传感器的量程为100000 g,灵敏度为2.18μV/g,一阶固有频率为157.82 kHz,理论上消除了横向交叉干扰,有效提升了传感器的性能。

主 题 词：高g值 分布式质量块结构 加速度计 有限元仿真 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2023.05.005

馆 藏 号：203122353...