超高清超高分辨率3D显微镜精密结构微振动分析研究

作     者：冯建刚 谢斌 

作者机构：天津中科物联网技术研究所天津300380 元宇宙产业技术研究中心天津300380 

出 版 物：《智能制造》 (Intelligent Manufacturing)

年 卷 期：2023年第3期

页      码：84-86页

摘      要：分析微观样品的结构越来越细小化、复杂化和精密化,并且分析数据的精度与准确性要求越来越高。目前市面上大部分显微镜还是利用微调旋钮等人为操作来调节,这样对测量产品数据的精度有一定影响,并且受外界条件的干扰,比如震动、气流及温度等,都会对精密仪器带来负面作用。本文将通过对重要精密设备载物台的结构研究分析,来完善优化载物台精密结构设计的合理性,并提供相应数据为改进设备结构提供技术支撑。

主 题 词：结构设计 3D 显微 机构优化 精密 定位精度 

学科分类：08[工学] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-8186.2023.03.019

馆 藏 号：203122382...