扫描电镜中扫描透射成像装置的研制及应用

作     者：赵学平 侯小虎 刘飞 梁绍波 郭春霞 崔晓明 白朴存 ZHAO Xueping;HOU Xiaohu;LIU Fei;LIANG Shaobo;GUO Chunxia;CUI Xiaoming;BAI Pucun

作者机构：内蒙古工业大学测试中心呼和浩特010051 内蒙古工业大学材料科学与工程学院呼和浩特010051 

基　　金：国家自然科学基金(62264013,11762014) 内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目(JY20220171,JY20220144,JY20220184) 

出 版 物：《实验科学与技术》 (Experiment Science and Technology)

年 卷 期：2023年第21卷第3期

页      码：57-61页

摘      要：使用扫描电镜自带的背散射电子探头(BSED)作透射散射电子探测器,设计了一套适合FEI Quanta 650FEG扫描电镜使用的扫描透射(STEM)成像装置,并制定了该STEM成像装置的操作说明。以埃洛石复合ZrO_(2)纳米颗粒为观察对象,对自制STEM成像装置的实用性进行了验证。结果表明:STEM像衬度与背散射电子探头到样品之间的距离相关,通过调整背散射电子探头与样品之间的距离,可以实现高角环形暗场像的采集,使ZrO_(2)纳米颗粒的亮度明显高于埃洛石;STEM像衬度与透射电镜采集的HAADF-STEM像一致,元素分布状态也与埃洛石和ZrO_(2)纳米颗粒对应,表明所研制的STEM成像装置具有较好的实用性。

主 题 词：扫描电镜 扫描透射电镜 成像装置 像衬度 高角环形暗场像 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.12179/1672-4550.20220200

馆 藏 号：203122437...