基于柔性铰链的手动微位移调整平台设计

作     者：崔良玉 方晨凯 丁楠 韩建鑫 崔华程 靳刚 CUI Liangyu;FAGN Chenkai;DING Nan;HAN Jianxin;CUI Huacheng;JIN Gang

作者机构：天津职业技术师范大学机械工程学院天津300222 天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222 天津职业技术师范大学电子工程学院天津300222 

基　　金：天津市自然科学基金重点项目(22JCZDJC00740) 天津市教委科研计划项目(2022ZD030) 天津市大学生创新创业训练计划项目(202110066093) 

出 版 物：《天津职业技术师范大学学报》 (Journal of Tianjin University of Technology and Education)

年 卷 期：2023年第33卷第2期

页      码：27-31页

摘      要：为了实现低成本的微纳米级微位移调整,文章基于柔性铰链直线位移与寄生位移的关系,设计了一种由测微头驱动的单自由度微位移调整平台。介绍了该微调平台的结构组成及工作原理,建立了微调平台缩小倍数即输入-输出关系的理论模型。通过关键尺寸赋值,得到一种结构紧凑的缩小倍数为47的手动微调平台,通过测微头输入步长为10μm的位移,最小输出位移为213 nm,输入范围为0~600μm,输出范围为0~13μm。采用Ansys Workbench仿真软件对微调平台的刚度、应力及输入-输出关系进行有限元验证,验证了该设计方案的可行性。

主 题 词：微调平台 柔性铰链 测微头 低成本 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.19573/j.issn2095-0926.202302005

馆 藏 号：203122504...