硅基双层薄膜谐振器的数学模型及优化设计

作     者：邓宁 于丽娟 朱长纯 单建安 

作者机构：西安交通大学真空微电子与微机械研究所 香港科技大学电气与电子工程系 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《西北建筑工程学院学报（自然科学版）》 (Journal of Northwestern Institute of Architectural Engineering)

年 卷 期：1998年第15卷第2期

页      码：7-13页

摘      要：研究了用工业ＩＣ技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理，并建立了数学模型．对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算，理论曲线与实验结果符合得很好．最后，给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法．

主 题 词：电热激励 薄膜谐振器 数学模型 优化设计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

馆 藏 号：203122514...