双光束激光扫描尺寸测量系统

作     者：张国玉 安志勇 李成志 高玉军 

作者机构：长春光学精密机械学院 中国科学院长春光学精密机械研究所 

基　　金：国家"八五"课题资助 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：1998年第19卷第5期

页      码：320-323页

摘      要：基于激光扫描检测原理，提出了一种用于测量较大直径的双光束激光扫描尺寸测量系统。利用具有良好速度特性和光学准直特性的扫描光学系统，通过分光光学系统，使扫描光束由一束变为两束，对工件两侧进行双光束扫描，将携带有被测量信息的两路光信号经光合成系统后将两束光进行合成和接收，经微机数据处理后，给出直径的测量结果。文章详细论述了系统的测量原理、组成和微机控制与数据处理系统，对扫描光学系统设计的有关理论问题进行了讨论。

主 题 词：激光扫描 双光束 直径 扫描光学系统 非接触测量 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.1998.05.011

馆 藏 号：203122530...