SiO_2基Mach-Zehnder型传感芯片的制备与敏感性研究

作     者：吴远大 姜婷 安俊明 李建光 王玥 王红杰 胡雄伟 

作者机构：中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心北京100083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60707008 60977045) 国家"863"计划资助项目(2007AA03Z420) 中科院半导体所知识创新工程前沿方向资助项目(ISCAS2008T09) 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2011年第22卷第2期

页      码：159-162页

摘      要：设计并制作了一种基于SiO2/Si材料的Mach-Zehnder干涉仪（MZI）型集成光波导传感芯片。采用不同浓度的NaCl溶液对传感芯片的敏感特性进行了测试分析,研究结果表明,该传感芯片对特定浓度NaCl溶液的响应和恢复时间分别为1.0 s和0.6 s,可测最小折射率变化为2×10-4RIU（单位折射率变化）,在NaCl溶液折射率1.3488~1.3736范围内具有较好的线性响应。

主 题 词：Mach-Zehnder干涉仪(MZI) 光波导传感 NaCl溶液 SiO2/Si 敏感性 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2011.02.030

馆 藏 号：203122578...