离轴非球面的计算全息图高精度检测技术

作     者：黎发志 罗霄 赵晶丽 薛栋林 郑立功 张学军 LI Fa-zhi;LUO Xiao;ZHAO Jing-li;XUE Dong-lin;ZHENG Li-gong;ZHANG Xue-jun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039 

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(No.61036015) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第19卷第4期

页      码：709-716页

摘      要：为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,提出了一种使用计算全息图(CGH)技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法。将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行CGH补偿检测设计,从而减小了检测光路的相对口径和CGH所需补偿像差,提高了CGH检测精度。使用自行开发的CGH专用设计计算软件,设计完成的CGH同时具有非球面检验、检测光路对准、被检非球面基准定位等多项功能。采用该方法设计(设计精度优于λ/10 000rms)并制作CGH对面形精度优于λ/50rms的离轴非球面进行了检测,误差分析表明,其检测精度优于λ/100,与传统null-lens方法的检测结果精确吻合。实验表明,采用该CGH可同时实现离轴非球面位置高精度定位、CGH与干涉仪对准以及离轴非球面高精度面形检验。

主 题 词：计算全息图 衍射光学元件加工 离轴非球面 光学检测 

学科分类：080706[080706] 0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20111904.0709

馆 藏 号：203122587...