扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究

作     者：赵玉清 薛希纯 徐蛟 唐天同 ZHAO Yu-qing;XUE Xi-cun;XU Jiao;TANG Tian-tong

作者机构：西安交通大学电信学院西安710049 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：1999年第18卷第5期

页      码：569-573页

摘      要：设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。确定了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了面向对象技术，采用了ＶｉｓｕａｌＣ＋ ＋ 编程，使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面，该爬行器的性能与国外同类产品基本相同。

主 题 词：扫描隧道显微镜 微位移驱动器 爬行器 压电元件 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-6281.1999.05.017

馆 藏 号：203122593...