1064 nm负滤光片的设计与制备

作     者：刘祺 徐均琪 苏俊宏 刘政 LIU Qi;XU Junqi;SU Junhong;LIU Zheng

作者机构：西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 中国科学院西安精密机械研究所先进光学制造技术联合实验室西安710119 

基　　金：陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2018KWZ-02) 西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2023年第43卷第7期

页      码：625-631页

摘      要：针对当前可见-近红外光电探测器的激光防护要求,研究了1064 nm负滤光片的设计和制备。基于等效折射率理论,综合考虑光谱和场强分布优化,设计了由SiO2/Y_(2)O_(3)/H4组合的规整膜系和SiO2/H4组合的非规整膜系负滤光片;采用离子束辅助热蒸发沉积方式对负滤光片进行了制备,并测试了其光学和抗激光损伤性能。结果表明:在膜系结构G|(0.5LH0.5L)s|A两侧匹配减反膜可以有效减小通带波纹,调整膜系最外层厚度可以同时改善膜系的光谱特性和电场强度分布。镀制的规整膜系负滤光片在400~900 nm和1200~2000 nm波段平均透过率分别为89.98%和93.21%,1064 nm透过率为1.29%,激光损伤阈值为6.0 J/cm^(2);非规整膜系负滤光片在650~900 nm和1200~2000 nm波段平均透过率分别为93.70%和94.99%,1064 nm透过率为1.60%,激光损伤阈值为6.8 J/cm^(2)。

主 题 词：负滤光片 设计 优化 离子束辅助 激光损伤阈值 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202204022

馆 藏 号：203122595...