三轴高g值MEMS加速度传感器技术研究

作     者：盛青山 朱成俊 刘立新 段修杰 SHENG Qingshan;ZHU Chengjun;LIU Lixin;DUAN Xiujie

作者机构：河南工业职业技术学院机械工程学院河南南阳473000 河南省材料成形装备智能技术工程研究中心河南南阳473000 邓州星光机械装备有限公司河南南阳473000 

基　　金：河南省教育厅重点科研项目:MEMS压力传感器及应用技术研究(21B510003) 南阳市科技计划项目:MEMS压力传感器及应用技术研究(KJGG022) 

出 版 物：《自动化与仪器仪表》 (Automation & Instrumentation)

年 卷 期：2023年第6期

页      码：224-229,234页

摘      要：针对检测战斗部侵彻过程中加速度信号,控制战斗部最佳位置起爆的需求,开展三轴高g值MEMS加速度传感器结构设计,工艺参数优化、封装、标定和测试,信号提取与处理等研究,突破传感器敏感元件抗高过载高灵敏度结构设计、关键工艺参数优化、抗高冲击金属封装工艺、标定和测试、冲击信号高信噪比和可靠识别等关键技术,具有重要的研究意义和实用价值。

主 题 词：MEMS 三轴加速度传感器 高g值 结构设计 参数优化 封装 标定 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.14016/j.cnki.1001-9227.2023.06.224

馆 藏 号：203122598...