用于MEMS振镜激光扫描的显微物镜设计

作     者：王兴宇 杨照清 薛萌 郭汉明 WANG Xingyu;YANG Zhaoqing;XUE Meng;GUO Hanming

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海200093 

基　　金：上海市地方能力建设项目(21010502900) 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：2023年第45卷第3期

页      码：74-79页

摘      要：为满足微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求,利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm,可匹配MEMS二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm,数值孔径为0.4,分辨率为1.26μm,工作距为900μm,各项像差校正良好,满足使用需求。设计结果表明,该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的MEMS二维振镜激光扫描系统的应用要求。

主 题 词：光学设计 显微物镜 近红外 大视场 MEMS振镜 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-5630.2023.003.010

馆 藏 号：203122605...