一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计

作     者：余荣 魏萌萌 闫睿 李京 陈俊儒 陈千睿 张吉峰 丁双 杨传森 姚雪琦 康朋伟 王欢 卢耀文 齐京 YU Rong;WEI Mengmeng;YAN Rui;LI Jing;CHEN Junru;CHEN Qianrui;ZHANG Jifeng;DING Shuang;YANG Chuansen;YAO Xueqi;KANG Pengwei;WANG Huan;LU Yaowen;QI Jing

作者机构：北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100029 杭州中真科技有限公司杭州310000 北京真空电子科技有限公司北京100016 清华大学北京100084 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2023年第43卷第7期

页      码：577-582页

摘      要：为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。

主 题 词：放气率 固体材料 对称结构 样品室 参考室 动态流量法 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202207014

馆 藏 号：203122606...