炉管设备高精度温控系统研究

作     者：杨勇 黄浩 周波 YANG Yong;HUANG Hao;ZHOU Bo

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所 

出 版 物：《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期：2023年第32卷第7期

页      码：78-82页

摘      要：炉管设备是目前半导体扩散、氧化、退火等工艺的主要设备,其温度控制的精度、温度场的均匀性等是设备的关键性能指标。为了满足炉管设备对温度控制的要求,设计了多段独立控制的加热系统,并采用串级控温方式对炉体内温进行精准控制;通过在调节PID参数进行动态调整,提升内温的动态跟随性能;通过在调节SP上限进行动态调整,达到了不过冲的性能;开发了设备控制软件并对温度控制性能进行了测试。结果表明,该温度控制系统可以满足快速升温、温度不过冲、温度控制的精度、恒温区均匀性以及动态跟随性能等均符合工艺技术要求,已在炉管设备上成功应用。

主 题 词：炉管 温度控制 串级PID控制 动态调参 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1681-5289.2023.07.015

馆 藏 号：203122609...