双光路干涉测量的控制系统设计

作     者：贾旭 韩森 吴泉英 JIA Xu;HAN Sen;WU Quanying

作者机构：苏州科技大学物理科学与技术学院江苏苏州215009 上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 苏州慧利仪器有限责任公司江苏苏州215123 

基　　金：国家重大科研仪器研制项目(62127901) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2023年第44卷第4期

页      码：842-851页

摘      要：传统的大口径光学元件干涉测量方法依赖于根据不同测试样品人为改变扩束镜头和光路结构,该方法会不可避免引入一些系统误差,因此针对双光路干涉仪的功能需要和仿真实验,提出了一套对应的双线控制方案。通过蓝牙通信、串口通信和机械结构的相互配合可以对光路进行多次折转和校准,使得每次切换测量口径后的光学元件变化位置固定,并在基于MFC(microsoft foundation classes)开发的交互界面显示实时状态。结果表明:在450 mm测量口径下,PV_(10)测量重复性可达到0.004λ,RMS测量重复性可达到0.0004λ;在100 mm测量口径下,PV_(10)测量重复性可达到0.0008λ,RMS测量重复性可达到0.00016λ。实验结果表明该系统保障了优越的测量效率和测量重复性,为双光路干涉仪的研发提供了参考价值。

主 题 词：双光路激光干涉仪 可视化控制 测量重复性 蓝牙通信 串口通信 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202344.0403005

馆 藏 号：203122619...