抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工

作     者：邵晶 李卓 聂真威 董浩 王英明 孙军月 张海涛 赵发财 Shao Jing;Li Zhuo;Nie Zhenwei;Dong Hao;Wang Yingming;Sun Junyue;Zhang Haitao;Zhao Facai

作者机构：青岛理工大学山东省激光绿色智能制造与设备协同创新中心山东青岛266520 工业流体节能与污染控制教育部重点实验室山东青岛266520 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 北京长峰科威光电技术有限公司北京100195 中国科学院大学北京100049 中国电子科技集团公司第四十一研究所山东青岛266555 

基　　金：中国博士后科学基金资助项目(2018M632639) 高等学校学科创新引智计划(111计划)(D21017) 山东省重大科技创新工程项目(2019JZZY010402) 山东省重点研发计划(2019GGX104106) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2023年第43卷第11期

页      码：173-180页

摘      要：为抑制光学系统内部的杂散光反射,设计了一种具有非对称特征的新型微结构。该微结构通过减少镜面反射的方式,防止外部杂散光到达光学系统像面位置。为实现对非对称微结构的激光高速加工制备,提出了激光振镜加工系统进行倾斜加工的新方式。设计了新型的高速激光加工平台,制备了非对称的铝基微结构,并搭建了镜面反射测试实验和仿真综合实验对样品进行对比测试。结果表明,加工样品对杂散光具有良好的抑制效果。当设定入射角度为15°、照明光束为650 nm激光时,该微结构与常规的阳极氧化表面相比,抑制杂散光的性能提高了10倍,相对反射率仅为0.008%。

主 题 词：光学设计 微结构制备 纳秒激光 激光材料加工 杂散光抑制 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS222069

馆 藏 号：203122621...