激光损伤阈值自动测量装置及实验

作     者：陈超 杨斌 于东钰 阴万宏 宫经珠 李辉 王楠茜 杨科 CHEN Chao;YANG Bin;YU Dongyu;YIN Wanhong;GONG Jingzhu;LI Hui;WANG Nanxi;YANG Ke

作者机构：西安应用光学研究所陕西西安710065 

基　　金：技术基础项目(JSJL2019208A004) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2023年第44卷第4期

页      码：852-858页

摘      要：设计并搭建了一套1064 nm、532 nm的双波长光学元件激光损伤阈值自动测量装置,用于光学元件膜层激光损伤阈值的自动化检测。装置主要由脉冲激光光源、光束参数诊断组件、损伤在线诊断组件、待测件扫描运动平台和控制系统组成。整个测量装置和测量过程由基于Labview编制的计算机综合测量软件自动控制,可实现损伤阈值在0.1 J/cm^(2)~100 J/cm^(2)能量密度范围内的自动测量,并利用该装置对1064 nm增透膜和铝反射膜样品进行了测量,得到损伤阈值分别为27.09 J/cm^(2)和3.21 J/cm^(2),相对不确定度分别为3.91%和5.61%。

主 题 词：自动测量 激光损伤阈值 1-on-1 能量密度 相对测量不确定度 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202344.0403006

馆 藏 号：203122626...